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摩根大通富国美洲国民第西太平洋等银行的资料é被张亿诚翻来覆去的看了遍fanwai又遍fanwai进行着细致的比较同时把他们之间的各期限间贷款的额度与利率做了个ฐ表,打个ฐ电话叫了份外卖吃完又开始继,远处偶尔传来辆汽车奔驰而过的呼啸声,数据寻址甚至读,外面已经华灯初上,而水平方向从左到右是1年2年3๑年贷款利率和存款利,左手边从上到下是各个银行,这是个ฐ系统的工程,还有就是专利ำ他是由525发展来的,79年日本人就发明了3๑5英寸的,你要卖赚钱,你专利ำ呢,在说支持这种规格的计算机都很少,你的技术接口数据传输方式,天几乎都已经黑了下来,在早先大致,消找出对自己最有利的那家

<,这又回来了你能绕开

我虽然也但是我自己有自己的个限度,比如你说80年你就开始装图形操作系统,我在文中?这可能吗,80่年最大的硬盘是5b的,个系统要占用多少空间?至少几十bຘ?图形操作系统,你怎么装进去还有图形界面需要的在73的时候在施乐实验室就诞生了,你要推图形系统你绕不过施乐่

尽管弗兰克很愤怒shubaojie,怒shubaojie气已๐经快完全控制ๆ了他,他深深做了个深呼吸很快回复了管的冷静睿智,然后再次的示意大家安静,“好吧,既然大家都不认可微型机市场那么下面我们有请我们的首席执行总裁欧shubaoinfo博尔先生来给我们朗读份报告,我消大家不要过于惊讶”说完,弗兰克走下主席台,在下面的会议桌靠近主席台的位置坐了下来

欧shubaoinfo博尔整理了下他的文件,然后快步走上了主席台,他现在是会议室里的焦点,大家都注视着他,欧shubaoinfo博尔神情严肃:“女士们先生们下面请允许我浪ฐ费大家点小小的时间来读份来自微型机行业的业绩报告:让我们先来看看目前市场上销售最火爆的苹果公司的微型机业务,截至到去年年底,苹果公司共销售了43๑万台微型机,当然包括早期的苹果1苹果2๐,而现在5月份的时候他们又在加利福尼亚的阿纳海ร姆举行的全国计算机展销会上推出了他们的新产品苹果3,经过我们对“计算机园地”的全美最大的计算机商店的暗中调查,发现苹果虽然高达4๒500美元但是已๐经十分的抢手,所以必估计到现在苹果的3系列微型机至少售出了60万台,根据公司业务部门的估算,他们的销售额至少达到เ了12亿美元,目前他们还不是上市๦公司,所以他们的财务报表没有披露,想想他们才是个ฐ仅仅成立4年的新า公司,让我们在来看看第二的唐迪公司,在79年他们的r-80微型机销售量竟然也达到เ了惊人的40่万台,而科莫多和阿塔里和唐迪公司的销售几乎ๆ部分上下,想想伙计们,这是多么เ大的块市超上面这些数据还仅仅只是微型机市๦场上的4级知名的公司,如果算上大量的中小型微型机公司,我想微型机市场年至少有100亿的规模,值得高度关注的是这个市场还在以20的速度增长,他们这些公司从市场上赚取了大把大把的钞ๆ票,令人惊讶的是我们公司到目前为止竟然对此还无动于衷,天哪,那可都是利润๰啊”此时的会议室鸦雀无声,大家都被这系列的数据惊呆了,都在仔细的回忆刚才欧shubaoinfo博尔先生所说的每句话每个数据

等到大家把这么เ震撼性的消息消化完毕,欧shubຘaoinfo博尔先生又接着说道:“在两年前,我们公司的管理层曾批准过个微型机产品的开发方案以满足小企业或者个人的会计系统需要,我们甚至还把这个项目生产出来的产品命名为r或者叫系统2当时为了节约成本,我们采用了英特尔公司的80่80微处理器,所以几个月后我们的硬件设计人员就完成了设计,可是到เ现在已๐经是两年后的今天了,我们的r所依赖的工ื作软件竟然还没有开发出来,而且我们高达2万美元的售价与苹果3๑的4500美元相比无论是性能ม还是价格完全的没有任何可比性,换句话说我们没有任何的竞争优势所以在这次会议上我请求各位b公司的精英们要对微型机的市场要有足够的重视,下面请弗兰克先生继续主持会议”个个的数据显然把下面的帮高层轰炸的体无຀完肤,后面的话更是让b的精英们脸上阵阵的发红

弗兰克卡里先生从新站在主ว席台上,眼睛缓缓的从前๩到后又从后到前๩扫视了遍faທnwai又边,在确认大家没有别ี的表示后以种低沉且缓慢到几乎个ฐ字个字吐出来般的声音说道:“对于欧shubaoinfo博尔先生在刚才的讲话,我表示很遗憾,面对如此块巨大的市场而我们全体管理层却装聋作哑我不能容忍,这几乎等于我们把只会生金蛋的母鸡拱手让给别人这是不可原谅的决策错误,但是好在还为ฦ时不晚,那么เ现在还有没有继续反对微型机项目的?”弗兰克又在次的看着下面的b的精英们,在没有任何人站起来后,继续说道:“那ว么现在让我们对公司开展微型机的项ำ目进行表决,请反对该项目的举ะ手并说出你的理由”没有那个笨蛋在这个时候还在为b发展微型机项目表示怀疑

“很好,既然大家都对微型机项目没有异议,那么下步将是如何做,我认为通用系统部负责这个项目将是比较合适的,直以来通用系统部都在负责所有非大型机的业务包括r,他们对这个项目将最具有发言权”弗兰克其实在这之前就与通用系统部门的负责人进行过沟通,特别是通用系统部ຖ实验室主任比尔洛沃先生,大家也都认为有必要近入微型机市场通用系统部是b公司在佐治亚州亚特兰大市成立的个新า部门,还没有阿克蒙市๦总部ຖ这么严重的官僚作风,它是弗兰克为了防备b被司法部分拆而准备的分公司弗兰克把b所有的非大型机业务都放在了这个部ຖ门

这个时候通用系统部的负责人站了起来,“我认为我们目前近入微型机市场最好的方法是通过收购现在市场上的几家微型机公司可以达到快速近入市场的目的,当然为了收购苹果唐迪科莫多或者阿塔里最好不过他们都拥有丰富的微型机开发经验,通过收购我们只需要把他们的微型机贴上我们b公司的商标配上我们的外围设备起出售,最是简单不过”

弗兰克和大家听到这里都觉的很有道理,不自觉的点了点头,通用系统部门的负责人得到เ了鼓舞继续说道:“我个人还认为除了苹果公司其余的都可以考虑,为什么不考虑苹果,我想大家也明白,他们的产品现在如此的火爆他们会不会出售还要两说,再次就算收购他们话费的代价也是不可想象的,对于我们下季度的业绩报表可能不是很好看;二,我们到现在还在受着司法部的垄断法的制ๆ约,如果我们在收购微型机市场第的苹果公司不知道我们会不会真的被分拆”

通用系统部的负责人很明显是个谨慎思虑周全的人,他的意见又被大家接受了弗兰克考虑了会才又说道:“没错,按照上面所说我们收购苹果是最合适的,但是又不是最合适的,按照我们b公司“追求第”的企业文化,收购其他的微型机公司不符合我们的理念”左思右想了会后继续说道“所以我决定以公司自己的力量研制出有竞争力的微型机产品,我们需要微型机,我们需要我们bຘ公司自己的微型机”这个ฐ时代b公司是骄傲的,他们主宰计算机市场几十年,他们是计算机规则的制定者,所以大家也同样觉的弗兰克说的很有道理,就这样通用系统部负责人提出的收购方แ案被否决了

这时同样来自通用系统部的实验室主任比尔洛沃站了起来“弗兰克先生请允许我说句,以目前๩公司这种情况我对依靠自己้的实力开发微型机所有的软硬件方案持怀疑态度,我们自己开发款自己的产品,从处理器芯片到เ存储器电å路板操作系统等等是多么困难的件事,而且要想使新产品不重蹈r的覆辙我们还必须为它配上合适的能够满足个ฐ人用户使用的各种应用软件,这将更加大开发的难度和增加开发的时间,也许等我们的新产品开发出来后就已经严重落后于市๦场的需求了,根据我跟人的估算这时间至少是3-4年”比尔洛沃的发言无异于给刚刚提起兴趣准备开发微型机的管理委员会泼了盆冷水

弗兰克皱了皱眉头,他同时也明白比尔洛沃的暗里的意思就是目前b公司在座各位的官僚主ว义严重,力量拧成不了股绳,弗兰克自己้也知道这种状态,但是想改变不是时半会就可以的这事弗兰克想到既ຂ然比尔提出了这个问题,也许他有其他的迂回的解决办法也๣说不定,于是说道“那ว么你有别的行的通的建议吗?”

对此比尔洛沃显的胸有成竹“我的建议其实很简单,我们适当的选择公司意外的软件硬件供应商进行合作,就像r样我们的处理器就选择了英特尔的808๖0,我们这次可以把合作对象扩大点,那ว么我们就可以尽早ຉ的推出我们公司的微型机产品了”大家这时也觉的这是目前为止最具有可能性的建议

“说说你的想法,有什么计划全部ຖ说出来”弗兰克作为董事长和会议主ว持人鼓励着他说

“我的想法是这样的,大部分的硬件我们自己可以生产的我们自己设计,软件开发与目前市场上的最流行的软件商进行合作,比如我们可以采用英特尔的80่86๔,它是目前市场上的最先进的处理器,我们以这个核心开发周边的硬件,我们不需要考虑应用软件的问题,只需要派遣部分人找目前流行在微型机上的软件公司洽谈,让他们做好移植到我们产品上的工ื作就可以,这样我认为通过协作我们会节约大量的时间”

通用系统部的负责人站了起来“比尔,我想问下,如果按照你说的来做,那么我们的经费将从那ว里来?还有销售渠道如何打开,你知道的我们的大型机直是有政府军队和研究机构固定的客户群,还有很重要的点是售后服务我们应该如何做,你也知道的维护台计算机的安全无故障的运行是多么麻烦的件事”当听说弗兰克把开发微型机的任务准备交给通用系统部的时候,通用系统部负责人就想好了上面的收购计划ฐ,但是很不幸没否决,他此时觉的通用系统部的项目实在太多了,他从根本上是不愿意接受微型机开发项目的

“经费我想这对于我们b来说几乎不是问题”大家听到这里哄笑了下,确实b此时年营业额上百亿美元,这么เ点用于开发微型机的小钱对于bຘ就是九牛毛“那么เ销售方面,我们为ฦ什不能学苹果唐迪他们呢,和计算机园地和比特这样的连锁经销商建立合作关系?我也仔细的研究过这几家公司的微型机的售后服务,可能大家还不知道,像这样的微型机产品由于基本上采用了不会损耗的半导体硅,基本不需要维护,另外因为这些微型机产品价格如此之低,所以用户也不会像要求大型机那样的售后服务”比尔洛沃几乎把所有能ม想到的都想全了,管理委员会几乎想不出什么像样的反驳理由

弗兰克提出了最后个问题๤“那么,比尔按照你的计划ฐ你个月内能出样机吗?然后年内能完成新型微型机的研制吗?”

“完全没有任何问题,尊敬的先生”

听到确信的回答弗兰克大声的说道“现在作为ฦ公司董事长和首席执行官的我批准公司的微型机开发计划,这个ฐ计划由比尔洛沃负责,建立个特别开发小组直接向我汇报工作的进度;洛沃先生你的这个小组必须在30่天内拿出微型机的样机展示给大家看,我对这次的开发计划ฐ定名为象棋行动”

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第十八章制版

第十八章制版

北美旧fqxs金山国际智能化公司内,新装修的办公室宽敞而明亮,排排的办公桌井然有序的安放好,此时还没有太多的工作人员,所以显的有那么เ点空旷

此时在二楼原先的老富兰克林的办公室内只有迪尔博士张亿诚和老富兰克林三人,尽管现在的天气已经很热,但是对自律非晨的三人来说依然身职业化的西装皮鞋加衬衣领带的装束,当然外面的空调在毫不酮的呼呼呼的把室内的影响人情绪的闷热往外抽走

“亲爱的布๧鲁斯,现在可以把你的宝贝芯片设计方案拿出来了,我们下步要开始建立我们的流水线了,你可能不太明白,要想我们的产品顺利的走下生产线,我需要你设计的芯片的各个ฐ设计参数,他包括设计用的层次定义แ设计规则ท晶体管电阻电å容等元件和通孔焊盘等基本结构的版图,还有与设计工ื具关联的设计规则检查参数提取和版图电å路对照用的文件,我想这些你应该已经准备好了”

“是的博士,这些文件我都已经全部准备好了,边说边从旁边的从自己家搬来的保险柜里取出来个公文包,打开公文包里面的文件整齐的以个目录个目录的钉在起放着

迪尔博士看到เ眼前这个年轻人如此的年轻却工作如此的有条理且勤奋和认真,也让他有些惊讶和佩服,他想不出他对于工作为什么เ如此的执着和老到,想想自己在他这个年轻的时候大概ฐ也许可能还在为能ม从高中毕业远离父母而沾沾自喜,或者在酒吧和朋友或者想着和那个女孩约会,而眼前这个年轻人生活中似乎ๆ除了工作和研究几乎没有别的节目“真的是个让人敬佩的可爱的小家伙”迪尔博士心里暗自嘀咕了句

“我们要想生产出达到要求而合格的芯片产品,我们首先必须进行项非常重要的工作:制版”迪尔博士现在有些欣赏这个年轻人了,好为人师的他所以准备教教眼前这个优秀的年轻人当然这是在自己和自己้的小杰克好朋友的眼中看了眼张亿诚,看到张亿诚在聚精会神的听着自己的说话,迪尔接着说道:“制版就是要产生套分层的版图掩模,为将来我们进行图形转移,也就是即将设计的版图转移到晶圆上去做好准备,这就像做衣服,首先做个耐后面的全都照ั着这个耐生产样,自然过程不会样,但是原理是个意思”

迪尔博士边说把张很大的白纸,规格应该达到了50่50,铺在平整而光洁的会议桌上,把自己้从张亿诚的设计图纸中提取的参数版图按照ั比例画在这张巨大的纸上,层掩模画ฑ种图案,迪尔博士在丝不苟的画来画去,不时的喊张亿诚和老富兰克林帮忙拿下工具或者读接下来的参数是多少,尽管空调在好不酮的工作着,但是迪尔博士依然渐渐的额头开始冒汗,细密的汗珠几乎快布๧满了他的前额๩张亿诚连忙递过去张扭干了水的湿毛巾擦干了汗水又继续开始忙碌起来虽然在前世张亿诚在芯片企业呆过段时间但是他除了知道大致的流程外,具体的细节自己还真不清楚,当时自己在的智能ม化研究所开发的自己需要的芯片基本上都是直接拿到เ芯片代工厂直接流片出来,生产过程基本不参与

迪尔博士的犹如艺术般的工ื作让张亿诚真是大开眼界,经过大约个礼拜的反复加班加点的工作后,副巨型图终于完成这个时候迪尔博士又拿出了个照相机,把照相机固定在支架上,同时把这副巨型图小心的固定在块平整而光滑的正方形的铁板上,然后把铁板竖起装上个ฐ可以前后左右上下调节的支架,经过反复的调整,终于迪尔博士确认此时的纸和水平面已经完全的成90่度角,迪尔博士又在旁้边开始调节他的照ั相机来确蹦出的照片正好是个正方形

“布鲁斯,这个过程看懂了吗?这个步骤叫做初缩,你要记住这个步骤千万不能出现点儿的差错,不然当你流片生产时会发现全是次品”迪尔博士边在那反复的调整还不忘提醒张亿诚

“是的,博士,真没想到这个过程是如此的复杂,我会谨记你的教诲的”这也许就是精密工业的所谓差ๆ之毫厘繆以千里吧,张亿诚这样想到

终于迪尔博士觉得达到了理想的目的后按下了快门,然后迪尔博士又把初缩版装入另外部步进重复照相机中ณ,进步的缩鞋达到设计要求的尺寸,这个时候迪尔博士拿过块早就准备好的铬板,步幅的印到铬板上,形成了个阵列

“,我的小布鲁斯ั你认识我手上的这个东西吗?”迪尔举ะ了举手上的铬板问道

“嗯,根据气味和表面的颜色应该是铬吧,下面的应该是石英钵๩”张亿诚根据自己的判断说道

“是的,你很聪明,这确实是块铬板也就是掩模,它是用石英钵做成的均匀平坦的拨片,表面上在涂ิ层60080่0厚的铬,使它的表面光洁度更高”迪尔博士对于张亿诚能回答出他的提问感到很高兴,他觉的张亿诚是真真正正的学习,任何勤奋好学,而又积极上进的学生都是导师喜欢的所以现在迪尔几乎由于杰克的关系而把张亿诚当成了自己的学生“在这种接触式曝光方法中ณ,掩模和晶圆尺寸相同,不过晶圆是圆的,而掩那方的”博士边做着手边上的工作还边不忘提醒张亿诚

“其实这种方法是有很多弊端,我以前在德仪的时候就在研究如何改进制ๆ版的工艺,不过还没等我研究出更好的方法,我就选择了退休,这次如果不是杰克的大力推荐我想我现在可能还在家里陪着家人”说道这里迪尔博士笑了起来然后又接着说“让我和你说说这种方法的弊端,,图画在纸上,因为热胀冷缩受潮起皱铺不平等会很容易引起失真;二,初缩时,照相机会有失真;三,步进重复照相时,同样有失真;四,从掩模到เ晶圆上城乡,还有失真所以到现在每块芯片上集成的晶体管也才几万个ฐ,如果更多,以目前的这种工艺几乎不可能了”说完,迪尔博士还叹了口气,也许是在为自己้在工艺上没有取得更大突破而遗憾吧

今天就这些吧,实在撑不住了,天六千多字对我实在是个大挑战

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第十九章气相成底膜和光刻๑胶

第十九๡章光刻胶当迪尔博士把制版工作完成后,这个时候工作场地完全的转移到了经过重新改造过的以前的老实验室里,这是是个黄铯的后的房间大安装的都是能发出黄光的灯,这里完全按照迪尔博士的设计进行的改造,只是缩小版的,基本的仪器设备样不缺,这个个不足500่平米的实验室仅仅设备的投入费用就达到了2๐00万美元,当然这还是经过精打细算的结果,以张亿诚目前的财力也只能做到这步“知道我为ฦ什么เ把这个房间全装上发黄光的灯吗?”张亿诚摇了摇头,“因为借下来的工ื作中涉及到的光刻胶对大部ຖ分的可见光都很敏感,只有黄光不敏感,这个ฐ这个步骤必须在黄光实验室进行”

“那么我们制版完成后,下步我们将进行更精细的工作,光刻,我把光刻分为气相成底膜旋转涂胶软烘干对准曝光曝光后烘培显影坚模显影后检查这8个主要步骤”三人换好工作服带上可以把头发和耳朵等全部遮住的帽子,然后口罩和大边框的平镜装备上走进了实验室,这样的实验室不允许有点灰尘,甚至出现头皮碎屑呼出的水蒸气等都不行

“在集成电路的制ๆ造过程中ณ,光刻是多次应用的非常重要的工序”说到这里博士扬了扬手中的已๐经完成前๩道工序的掩模继续说道“光刻的作用就是把我手上的这块掩南的图形转换成晶圆上的器件三维结构张亿诚跟着点了点头表示明白

博士接着把手中通过特殊镊子夹起的晶圆放到清洗机器中排排的细小器皿中,打开电路开关器皿自动缩进机器,微小的电机声传来“这步的清洗很重要主要是除去表面的沾污物,这台机器可以对晶圆进行超声波和离子水冲洗,虽然这些晶圆刚完成氧化和淀积操作,处于洁净的状态,但是在转移的过程中还是有可能ม出现污物附着在表面,沾污物会造成光刻胶ด与晶圆的粘附性差,这样在显影和刻蚀中容易引起光刻胶ด的漂移问题,光刻๑胶漂移就会导致底层薄膜的钻蚀直接的后果就是光刻胶ด涂布的不平坦和光刻胶中产生针孔,试验的产品就会失败”博士指了指面前的正在发出微弱响声的机器说道这些晶圆都是采购市๦场上的高纯硅工厂已经完成了硅棒外延长生长切割然后磨片抛光后的半成品当然这些还是很简单的处理工艺在现在这个时代张亿诚也只有凑合着用外延长工艺的重要性其实张亿诚很明白,奈何现在没技术二没资金,所以也๣只有先从外面采购,幸好这里是硅谷,到处是硅制品的工厂,可怜的老富兰克林现在已经沦落到成了生产学员加跑腿的非职业化采购了

电机声响了会自动退下来,这个时候迪尔博士操作着旁边的机械臂把事先放进去清洗的成排的晶圆小心翼翼的取了出来放入旁边的自动脱๳水烘箱中,然后博士把烘箱的温控系统的温度调到เ了200摄氏度,时长个小时,也就是说这些清洗后的晶圆要在自动烘箱中的20่0摄氏度的高温下烘干小时“让我来和你说说这步的作用布鲁斯ั,这是个脱水干烘体的充满惰性气体的封闭腔相对湿度必须控制在50以下,通过长达小时的烘干,我们的目的是除去吸附在晶圆表面的大部分水汽防止在接下来的步骤中因为水汽而引起光刻๑胶薄膜出现缺陷,这对成品的良品率非常重要”博士边说边走下台机器旁,把这步需要的前期准备参数调整好“这是涂光刻胶机器,请操作的时候万分小心,他中间的转盘工ื作时可以达到几千转每分钟的速度

张亿诚跟在后面非超力的记忆着博士的每个操作步骤和所说的话,等到เ这台涂光刻๑胶机器完全准备就绪又过了会,自动脱๳水温控烘箱终于完成它的任务

等到晶圆完全的冷却后,博士立即用瓶子上写有六甲基二硅胺烷的液体对这些晶圆进行成膜处理,边做边说道“这些六甲基二硅胺ธ烷可以影响晶圆表面使之疏离水份子,同时形成对光刻胶材料的结合力,我们现在用的是最基本的浸泡处理方法”然后又连忙操纵着机械臂把完成处理的晶圆放到涂ิ光刻胶的机器内的个圆盘上,调整好晶圆的位置后,博士在这个像个ฐ大号塑料桶样的机器旁้按了个按钮后接着说道“我们要想光刻胶能够均匀的涂抹在晶圆上,我们必须ี要先固定好晶圆,它的下面其实是真空吸盘”然后博士把这个机器的盖子盖上,盖子上有个ฐ伸出来的管子博士接着说“这个管子连接着的是过滤器和精准滴注器,我们的光刻胶首先要通过这根管子近入过滤器进行再次的过滤和通过滴注器定量滴注到下面被真空吸盘固定住的晶圆中央”

张亿诚看到博士把罐大致标注着正胶的很小的管口接到涂ิ光刻胶机器顶上伸出来的管子上,“博士,那是正胶,那么是不是还有负胶ด翱”张亿诚好奇的问道

“是的,你说的很正确,光刻胶目前市๦场上有2种,也就是你说的正胶和负胶,现在我必须和你说说光刻胶ด,让你对它有基本的概念,它是种有机化合物,在触光曝光后会发生光固化反应,使得这种材料é的物理性能,特别是溶解性亲合性等发生非常明显的变化这样在显影液中的光刻胶ด已经曝光的部ຖ分会被溶解掉,而没有曝光的部分在显影液中几乎又不溶解;即可以做晶圆上的图形模版也๣就是掩膜版转移到เ晶圆上的图形而且在后面的工艺中还可以保护下面的材料,它的主要成分就是感光树脂增感剂溶剂和些添加剂”真是步步皆学问艾张亿诚感叹

“那么正负光刻胶ด又有那些区别呢?他们主要又有那些物理特性?”张亿诚看着博士接着问

博士知道眼前๩这个学生是个勤奋好学的好学生,前面当他看到张亿诚的那ว份集成电路的设计图时他确信这是个天才的设计师,但是对于工艺技术很显然还是个门外汉,这个问题博士思考了会,他在想着怎么组织语言能够更简洁明了的说明白“通常来说他们主要有4点区别:,分辨率,相对来说正光刻胶的分辨率要优于负光刻胶ด,市场上非常好的负光刻胶的分辨率也才能达到2μ;二,负光刻胶ด在曝光后会硬化而变得不可溶解,显影后图像会与我们原先掩膜版的图形相反;三,正光刻๑胶曝光时会软化,变得可溶解,显影后图形与原先掩膜版图形是个样子的;最后点其实是正光刻胶的缺点,正光刻๑胶的粘附性相比负光刻胶较差ๆ”

“至于物理特性”停顿ู了下博士又拿了罐全新的光刻胶ด指着商标上标注的特性开始解释说道“你可以从下面几个方面进行理解,分辨率他是区别晶圆表面上两个ฐ或者更多临近特征图形的能ม力,芯片内核本身是个个的三维图形的;至于对比度是光刻胶ด上从曝光区到非曝光区过度的陡度;还有敏感性就是晶圆表面光刻胶中产生个良好图形所需要的定波长光的最小能量值般单位是每平方厘米,提供给光刻胶的光能量值通常成为曝光量;下面的粘滞性是对于液ຂ体光刻胶来说其流动特性的定量指标,粘滞性增加,光刻胶流动的趋势变鞋反之ใ相反;粘附性与粘滞性虽然字之差ๆ但是他们却是2个概念,粘附性指的是描述光刻胶粘于衬底的强度;抗蚀性,是我们后续的蚀刻๑程序中保护衬底表面的能力;表面张力,你可以这样理解,他是液体中将表面份子拉向液体主体内的分子间吸引力;至于存储和传送就更好理解,是关于光刻胶本身的最长闲置期限和存储温度,通俗的说就是在什么样的温度条件下的保质期;最后还需要考虑的是光刻胶ด本身的纯度”说完博士长长的出了口气,尽管隔着口罩,张亿诚也样知道要像把这么复杂的问题说明白不是件简单的事,看旁边的老富兰克林的样子也样是副有听没有懂的表情

第二十章过程

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